ماشین های پوشش فزیکی بخار استفاده از تکنولوژی پیشرفته خلاء برای ایجاد لایه های نازک و ماندگار فیلم بر روی زیربناهای مختلف.این سیستم ها ابتدا یک محیط با خلاء بالا برای حذف آلاینده ها ایجاد می کنند.این فرآیند شامل تبخیر مواد پوشش جامد از طریق تبخیر حرارتی یا تکنیک های اسپتر شدن است. در اسپتر شدن، ذرات گاز یونیزه شده به یک ماده هدف بمب می زنند.اتم های خارج کننده که پس از آن بر روی سطح قطعه کار قرار می گیرندروش های تبخیر از حرارت شدید برای تبدیل مواد پوشش به فاز بخار استفاده می کنند.

این ماشین ها دارای سیستم های کنترل پیچیده ای هستند که درجه حرارت، فشار و نرخ رسوب را تنظیم می کنند تا کیفیت ثابت فیلم را تضمین کنند.اتاق های فرعی متعدد امکان استفاده از پوشش های متوالی را در حالی که حفظ یکپارچگی خلاء را فراهم می کندسیستم های پیشرفته PVD شامل ارتقاء پلاسما برای بهبود چسبندگی و چگالی پوشش است.