یک ماشین پوشش PVD یک قطعه پیچیده از تجهیزات صنعتی است که برای استفاده از پوشش های فیلم نازک به بستر های مختلف از طریق فرآیندی به نام سپرده گیری بخار فیزیکی استفاده می شود. در این فرآیند،مواد از یک منبع جامد در یک اتاق خلاء تبخیر می شوند و سپس بر روی شی هدف قرار می گیرندتکنیک های رایج PVD شامل اسپتر کردن و تبخیر است.

دستگاه از چند قطعه کلیدی تشکیل شده است. یک اتاق با خلاء بالا برای جلوگیری از آلودگی و اجازه دادن به ذرات تبخیر شده بدون مانع سفر ضروری است. در داخل اتاق، یک منبع،مثل یک هدف اسپوتینگ یا یک قایق تبخیریک منبع برق، اغلب یک منبع ولتاژ بالا DC یا RF، انرژی مورد نیاز برای تبخیر مواد را فراهم می کند. حامل های بستر موارد مورد پوشش را ایمن می کنند،و آنها می توانند چرخش یا حرکت برای اطمینان از پوشش یکنواختسیستم های کنترل پیچیده پارامترهای مانند فشار، درجه حرارت و سرعت رسوب را مدیریت می کنند.