دستگاه پوشش PVD یک دستگاه صنعتی پیچیده است که برای رسوب دادن لایه‌های نازک بر روی لایه‌های مختلف از طریق فرآیندهای رسوب فیزیکی بخار استفاده می‌شود. این در یک محفظه با خلاء بالا عمل می کند که در آن مواد از یک منبع جامد تبخیر می شوند و سپس بر روی محصول مورد نظر متراکم می شوند. تکنیک‌های کلیدی شامل کندوپاش، تبخیر و آبکاری یونی است که هر کدام برای کاربردهای خاصی مانند افزایش مقاومت در برابر سایش، بهبود حفاظت در برابر خوردگی یا ارائه روکش‌های تزئینی طراحی شده‌اند.

فرآیند پوشش با قرار دادن بستر در داخل محفظه خلاء آغاز می شود. سپس محفظه برای حذف آلاینده ها قبل از وارد کردن گاز بی اثر مانند آرگون تخلیه می شود. برای کندوپاش، یک پلاسما با ولتاژ بالا تولید می‌شود که باعث می‌شود یون‌ها یک ماده هدف را بمباران کنند و اتم‌هایی را که حرکت می‌کنند و به زیرلایه می‌چسبند بیرون می‌ریزند. برای تبخیر، ماده منبع حرارت داده می شود تا تبخیر شود و در اثر تراکم، یک لایه نازک تشکیل می شود.