PVD مخفف Physical Vapor Deposition (رسوب فیزیکی بخار) است که در مجموع شامل ۲ مرحله اصلی، پمپاژ و پوششدهی میباشد. برای دستیابی به فیلم PVD، به دستگاه پوششدهی PVD نیاز داریم.
۳ بخش اصلی دستگاه PVD شامل محفظه خلاء، پمپ خلاء و کابینت الکتریکی است.
در اینجا، دستگاه PVD قوس کاتدی تزئینی را به عنوان مثال در نظر میگیریم. ابتدا، از پمپ خلاء برای پمپاژ محفظه خلاء به وضعیت خلاء بالا (معمولاً ۱۰-۳ پاسکال) استفاده میکنیم، سپس پوششدهی را آغاز میکنیم. در مورد پوششدهی PVD، معمولاً از منبع قوس جریان بالا برای گرم کردن هدف تیتانیوم به ذرات یون استفاده میکنیم، سپس آن را با گازهای مختلف (آرگون، نیتروژن، استیلن، اکسیژن) پر میکنیم تا واکنش داده و رنگ مورد نیاز خود را به دست آوریم.
محصولات نهایی پوششدهی شده با PVD را میتوان در زندگی روزمره ما یافت، مانند جواهرات، ظروف غذاخوری، لوازم آشپزخانه و غیره. بنابراین، پوششدهی PVD میتواند زندگی ما را تزئین کند. علاوه بر این، در ابزارهای حفاری و متههای فرز، سختی بالا و ضریب اصطکاک پایین توسط پوششدهی PVD به این ابزارهای برشی آورده میشود. چسبندگی قوی فیلم با عمر استفاده طولانیتر یکی دیگر از مزایای فرآیند پوششدهی PVD است.